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高纯氦气泄露后如何检测?

编辑:北京日月金铎气体有限公司时间:2019-09-20

任何仪器在生产过程中不可避免地会遇到密封不当的情况。一些不重要的设备的轻微泄漏并不重要。但在半导体器件、集成电路等重要电气设备和高端仪器中,良好的密封性可以决定仪器的正常使用,因此检漏非常重要。市场上有各种检漏仪器,最常见的载气有氮气、氢气、氦气等。一定听说过高纯氦气泄漏检测,那高纯氦气泄漏检测是怎么回事?泄漏检测是如何工作的?

在设备和厂房中,通常有一些接头,如管道,密封件上可能有肉眼难以检测到的小孔。如果不注意,就会导致泄漏,造成事故。你如何检测这些地方的泄漏?高纯氦气作为第二种比氢轻的惰性气体,在自然状态下会垂直向上扩散,并将氦气注入被测管道中。如果这些装置有泄漏,我们可以通过监测仪器检测管道外的高纯氦气。这是管道中泄漏检测方法。

高纯氦气

如何对一些高精度和精密的小型电子元件进行高纯氦气泄漏检测?检测到的元素被放置在充满氦气气的容器中并加压。在压力作用下,如果这些部件中有泄漏点,氦气将通过这些孔进入部件。用压缩空气将元件表面残留的少量高纯氦气净化后,用质谱仪检测元件表面漏出的氦气。应该注意的是,它的价格很高,所以泄漏检测的成本也不低。

泄漏检测是利用小氦气分子可以很容易地进入那些肉眼看不见的孔中,利用监测仪器可以检测出孔中氦气的泄漏。首先测定了泄露点,得到了氦气的含水量。然后用色谱仪计算出氢气、氧气、二氧化碳等杂质。高纯氦气泄漏检测有两种方法,一种是反压法,另一种是真空室法。